新型蒸汽流量計是技術趨勢如何帶來可以使多個行業受益的變革的一個非常好例子。通過使用蒸汽流量計計量和控制技術,您可以控制涂層或沉積過程或創建穩定的校準環境。產生蒸汽一直是一個復雜而昂貴的過程,依賴于使載氣通過加熱的流化床。這產生了可變的組分蒸氣,其在質量或蒸氣組成上是不受控制的。
該蒸汽流量計技術已經使用多年并且在多個行業中使用。只要看看上述蒸汽流量計的基礎知識,您就可以開始想象所面臨的挑戰和成本。

流體的蒸發可導致蒸汽濃度變化
通過改變液位產生的背壓差異
流量隨液位變化而導致工藝條件發生變化
恒溫器精度的變化可以增加流體的溫度變化
加熱流化床的能耗高
如果您要更換蒸汽流量計,首先要拆除的是加熱流化床。它創建了多種變體來源:
流體的蒸發可導致蒸汽濃度變化
通過改變液位產生的背壓差異
流量隨液位變化而導致工藝條件發生變化
恒溫器精度的變化可以增加流體的溫度變化
加熱流化床的能耗高
通過從過程中去除這些變化來源并將液體流量控制與科里奧利儀器和氣體流量控制相結合,使用具有溫度控制流動路徑的熱旁路儀器,您可以利用以下改進:
對流程變化的響應速度
降低原材料成本
準確的溫度控制
基板快速周轉
選擇PPM,PPB,摩爾或濃度輸出條件。
應用閉環控制并結合不同的傳感器技術,您可以構建一個解決方案,使您能夠以準確和受控的方式生成蒸汽。
通過直接控制液體和氣體流入溫控流動路徑,可以很容易地改變產生的工藝條件。該科里奧利液體質量流量計和熱旁通氣體流量控制器直接連接到上溫度受控的流路的ding部上的3路混合閥。通過使液體和氣體通過孔口,組合的氣流在被加熱之前被霧化,這確保了氣流中液體的完全蒸發。
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